|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 31 van 31 gevonden artikelen
| Titel: |
Two-step annealing effects on ultrathin EOT higher-k (k =40) ALD-HfO2 gate stacks |
| Auteur: |
Morita, Yukinori Migita, Shinji Mizubayashi, Wataru Masahara, Meishoku Ota, Hiroyuki |
| Verschenen in: |
Solid-state electronics |
| Paginering: | Jaargang 84 (2013) nr. C pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 31 van 31 gevonden artikelen
| << vorige |