|
Mushroom-free selective epitaxial growth of Si, SiGe and SiGe:B raised sources and drains |
|
|
|
Titel: |
Mushroom-free selective epitaxial growth of Si, SiGe and SiGe:B raised sources and drains |
Auteur: |
Hartmann, J.M. Benevent, V. Barnes, J.P. Veillerot, M. Lafond, D. Damlencourt, J.F. Morvan, S. Prévitali, B. Andrieu, F. Loubet, N. Dutartre, D. |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 83 (2013) nr. C pagina's 8 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|