|
Electrical characteristics of SiGe pMOSFET devices with tantalum or titanium oxide higher-k dielectric stack |
|
|
|
Titel: |
Electrical characteristics of SiGe pMOSFET devices with tantalum or titanium oxide higher-k dielectric stack |
Auteur: |
Li, Chen-Chien Chang-Liao, Kuei-Shu Fu, Chung-Hao Tzeng, Te-Hsuen Lu, Chun-Chang Hong, Hao-Zhi Chen, Ting-Ching Wang, Tien-Ko Tsai, Wen-Fa Ai, Chi-Fong |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 78 (2012) nr. C pagina's 5 p. |
Jaar: |
2012 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|