|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 21 gevonden artikelen
| Titel: |
Bulk FinFET fabrication with new approaches for oxide topography control using dry removal techniques |
| Auteur: |
Redolfi, A. Kubicek, S. Rooyackers, R. Kim, M.-S. Sleeckx, E. Devriendt, K. Shamiryan, D. Vandeweyer, T. Delande, T. Horiguchi, N. Togo, M. Wouters, J.M.D. Jurczak, M. Hoffmann, T. Cockburn, A. Gravey, V. Diehl, D.L. |
| Verschenen in: |
Solid-state electronics |
| Paginering: | Jaargang 71 (2012) nr. C pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 21 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |