|
Influence of atomic layer deposition chemistry on high-k dielectrics for charge trapping memories |
|
|
|
Titel: |
Influence of atomic layer deposition chemistry on high-k dielectrics for charge trapping memories |
Auteur: |
Nikolaou, Nikolaos Dimitrakis, Panagiotis Normand, Pascal Ioannou-Sougleridis, Vassilios Giannakopoulos, Konstantinos Mergia, Konstantina Kukli, Kaupo Niinistö, Jaakko Ritala, Mikko Leskelä, Markku |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 68 (2012) nr. C pagina's 10 p. |
Jaar: |
2012 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|