|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 32 gevonden artikelen
| Titel: |
A SrRuO3/IrO2 top electrode FeRAM with Cu BEOL process for embedded memory of 130nm generation and beyond |
| Auteur: |
Kumura, Y. Ozaki, T. Kanaya, H. Hidaka, O. Shimojo, Y. Shuto, S. Yamada, Y. Tomioka, K. Yamakawa, K. Yamazaki, S. Takashima, D. Miyakawa, T. Shiratake, S. Ohtsuki, S. Kunishima, I. Nitayama, A. |
| Verschenen in: |
Solid-state electronics |
| Paginering: | Jaargang 50 (2006) nr. 4 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 32 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |