|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 29 gevonden artikelen
| Titel: |
Evaluation and localization of oxygen in thin TiN layers obtained by RTLPCVD from TiCl4–NH3–H2 |
| Auteur: |
Imhoff, L. Bouteville, A. de Baynast, H. Remy, J.C. |
| Verschenen in: |
Solid-state electronics |
| Paginering: | Jaargang 43 (1999) nr. 6 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
1999 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 29 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |