Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
   volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 1 van 29 gevonden artikelen
 
 
  An investigation into the performance of diffusion barrier materials against copper diffusion using metal-oxide-semiconductor (MOS) capacitor structures
 
 
Titel: An investigation into the performance of diffusion barrier materials against copper diffusion using metal-oxide-semiconductor (MOS) capacitor structures
Auteur: Len, Vee S.C
Hurley, R.E
McCusker, N
McNeill, D.W
Armstrong, B.M
Gamble, H.S
Verschenen in: Solid-state electronics
Paginering: Jaargang 43 (1999) nr. 6 pagina's 5 p.
Jaar: 1999
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Science Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 1 van 29 gevonden artikelen
 
   volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland