|
High-resistivity silicon-based substrate using buried PN junctions towards RFSOI applications |
|
|
|
Titel: |
High-resistivity silicon-based substrate using buried PN junctions towards RFSOI applications |
Auteur: |
Moulin, M. Rack, M. Fache, T. Chalupa, Z. Plantier, C. Morand, Y. Lacord, J. Allibert, F. Gaillard, F. Lugo, J. Hutin, L. Raskin, J.P. |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 194 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2022 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|