|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 19 gevonden artikelen
| Titel: |
Impact of residual defects caused by extension ion implantation in FinFETs on parasitic resistance and its fluctuation |
| Auteur: |
Matsukawa, Takashi Liu, Yongxun Mori, Takahiro Morita, Yukinori Otsuka, Shintaro O'uchi, Shin-ichi Fuketa, Hiroshi Migita, Shinji Masahara, Meishoku |
| Verschenen in: |
Solid-state electronics |
| Paginering: | Jaargang 132 (2017) nr. C pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 19 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |