|
Two methods of tuning threshold voltage of bulk FinFETs with replacement high-k metal-gate stacks |
|
|
|
Titel: |
Two methods of tuning threshold voltage of bulk FinFETs with replacement high-k metal-gate stacks |
Auteur: |
Xu, Miao Zhu, Huilong Zhang, Yanbo Xu, Qiuxia Zhang, Yongkui Qin, Changliang Zhang, Qingzhu Yin, Huaxiang Xu, Hao Chen, Shuai Luo, Jun Li, Chunlong Zhao, Chao Ye, Tianchun |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 129 (2017) nr. C pagina's 9 p. |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|