|
Modeled optical properties of SiGe and Si layers compared to spectroscopic ellipsometry measurements |
|
|
|
Titel: |
Modeled optical properties of SiGe and Si layers compared to spectroscopic ellipsometry measurements |
Auteur: |
Kriso, C. Triozon, F. Delerue, C. Schneider, L. Abbate, F. Nolot, E. Rideau, D. Niquet, Y.-M. Mugny, G. Tavernier, C. |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 129 (2017) nr. C pagina's 4 p. |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|