|
Modeling boron dose loss in sidewall spacer stacks of complementary metal oxide semiconductor transistors |
|
|
|
Titel: |
Modeling boron dose loss in sidewall spacer stacks of complementary metal oxide semiconductor transistors |
Auteur: |
Essa, Z. Pelletier, B. Morin, P. Boulenc, P. Pakfar, A. Tavernier, C. Wacquant, F. Zechner, C. Juhel, M. Autran, J.L. Cristiano, F. |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 126 (2016) nr. C pagina's 7 p. |
Jaar: |
2016 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|