|
The effect of deposition processing on structural and luminescent properties of a-SiOC:H thin films fabricated by RF-magnetron sputtering |
|
|
|
Titel: |
The effect of deposition processing on structural and luminescent properties of a-SiOC:H thin films fabricated by RF-magnetron sputtering |
Auteur: |
Vasin, A.V. Rusavsky, A.V. Kysil, D.V. Prucnal, S. Piryatinsky, Yu.P. Starik, S.P. Nasieka, Iu. Strelchuk, V.V. Lysenko, V.S. Nazarov, A.N. |
Verschenen in: |
Journal of luminescence |
Paginering: |
Jaargang 191 (2017) nr. PB pagina's 5 p. |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|