|
Automatic control in microelectronics manufacturing: Practices, challenges, and possibilities |
|
|
|
Titel: |
Automatic control in microelectronics manufacturing: Practices, challenges, and possibilities |
Auteur: |
Edgar, Thomas F. Butler, Stephanie W. Campbell, W.Jarrett Pfeiffer, Carlos Bode, Christopher Hwang, Sung Bo Balakrishnan, K.S. Hahn, J. |
Verschenen in: |
Automatica |
Paginering: |
Jaargang 36 (2000) nr. 11 pagina's 37 p. |
Jaar: |
2000 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|