|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 84 gevonden artikelen
| Titel: |
Bonding structure and dry etching characteristics in amorphous B–C–N films for hardmask applications |
| Auteur: |
Kim, Hongik Kim, Unggi Hong, Deokgi Kim, Sungtae Han, Seungwu Joo, Young-Chang Lee, So-Yeon |
| Verschenen in: |
Carbon |
| Paginering: | Jaargang 226 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 84 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |