|
High-precision and high-speed etching of diamond surfaces using Fe–Ni alloy catalyzed H–O plasma etching |
|
|
|
Titel: |
High-precision and high-speed etching of diamond surfaces using Fe–Ni alloy catalyzed H–O plasma etching |
Auteur: |
Wen, Dongyue Li, Yicun Zhao, Jiwen Hao, Xiaobin Zhang, Sen Liu, Benjian Zhang, Yumin Ralchenko, Viktor Dai, Bing Zhu, Jiaqi |
Verschenen in: |
Carbon |
Paginering: |
Jaargang 218 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|