|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 61 gevonden artikelen
| Titel: |
Bonding structure and etching characteristics of amorphous carbon for a hardmask deposited by DC sputtering |
| Auteur: |
Lee, So-Yeon Jang, Kyung-Tae Jeong, Min-Woo Kim, Sungtae Park, Hwanyeol Kim, Kuntae Lee, Gun-Do Kim, Miyoung Joo, Young-Chang |
| Verschenen in: |
Carbon |
| Paginering: | Jaargang 154 (2019) nr. C pagina's 277-284 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 61 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |