|
Precursor gas composition optimisation for large area boron doped nano-crystalline diamond growth by MW-LA-PECVD |
|
|
|
Titel: |
Precursor gas composition optimisation for large area boron doped nano-crystalline diamond growth by MW-LA-PECVD |
Auteur: |
Taylor, A. Ashcheulov, P. Hubík, P. Klimša, L. Kopeček, J. Remeš, Z. Vlčková Živcová, Z. Remzová, M. Kavan, L. Scheid, E. Lorinčík, J. Mortet, V. |
Verschenen in: |
Carbon |
Paginering: |
Jaargang 128 () nr. C pagina's 164-171 |
Jaar: |
2018 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|