|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 71 van 88 gevonden artikelen
| Titel: |
Pulsed KrF laser-assisted direct deposition of graphitic capping layer for Cu interconnect |
| Auteur: |
Cho, Chunhum Lee, Sang Kyung Yoo, Tae Jin Heo, Sunwoo Hwang, Hyeon Jun Kang, Chang Goo Ham, Moon-Ho Lee, Byoung Hun |
| Verschenen in: |
Carbon |
| Paginering: | Jaargang 123 (2017) nr. C pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 71 van 88 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |