|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 23 gevonden artikelen
| Titel: |
Comments on the influence of the entrance zone in LPCVD reactors for in situ phosphoros-doped polysilicon deposition |
| Auteur: |
Azzaro, C. Duverneuil, P. Couderc, J.P. |
| Verschenen in: |
Chemical engineering science |
| Paginering: | Jaargang 48 (1993) nr. 10 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
1993 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 23 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |