|
On-site tetrafluoroethylene gas generation from moderate-pressure pure tetrafluoromethane plasma reactor |
|
|
|
Titel: |
On-site tetrafluoroethylene gas generation from moderate-pressure pure tetrafluoromethane plasma reactor |
Auteur: |
Ohmi, Hiromasa Kikura, Jou Tanaka, Tomoyuki Tanaka, Rei Iino, Daiki Sakai, Itsuko Kurihara, Kazuaki Fukumizu, Hiroyuki Abe, Junko Fukuhara, Jota Hayashi, Hisataka Kakiuchi, Hiroaki Yasutake, Kiyoshi |
Verschenen in: |
Chemical engineering science |
Paginering: |
Jaargang 229 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|