|
In-operando visualization of the dynamic microvia copper filling process for metal interconnection of integrated circuit |
|
|
|
Titel: |
In-operando visualization of the dynamic microvia copper filling process for metal interconnection of integrated circuit |
Auteur: |
Yang, Jia-Qiang Song, Tao Wang, Zhao-Yun Jin, Lei Zhao, Yi Hu, Ren Su, Jian-Jia Yang, Fang-Zu Zhan, Dongping Han, Lianhuan |
Verschenen in: |
Electrochimica acta |
Paginering: |
Jaargang 535 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|