|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 43 gevonden artikelen
| Titel: |
Electrochemical aspects of copper chemical mechanical planarization (CMP) in peroxide based slurries containing BTA and glycine |
| Auteur: |
Ein-Eli, Y. Abelev, E. Starosvetsky, D. |
| Verschenen in: |
Electrochimica acta |
| Paginering: | Jaargang 49 (2004) nr. 9-10 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2004 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 43 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |