|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 76 van 77 gevonden artikelen
| Titel: |
Wet-chemical etching of metals for advanced semiconductor technology nodes: Ru etching in acidic Ce4+ solutions |
| Auteur: |
Philipsen, Harold Mouwen, Nils Teck, Sander Monnens, Wouter Le, Quoc Toan Holsteyns, Frank Struyf, Herbert |
| Verschenen in: |
Electrochimica acta |
| Paginering: | Jaargang 306 () nr. C pagina's 285-298 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 76 van 77 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |