|
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
5 gevonden resultaten
| nr | titel | auteur | tijdschrift | jaar | jaarg. | afl. | pagina('s) | type |
| 1 | Ab initio pseudopotential calculations of dopant diffusion in Si |
Zhu, Jing |
1998 |
12 | 4 |
p. 309-318 10 p. |
artikel |
|
| 2 | Continuum based modeling of silicon integrated circuit processing: An object oriented approach |
Law, Mark E. |
1998 |
12 | 4 |
p. 289-308 20 p. |
artikel |
|
| 3 | Deposition and etch processes: continuum film evolution in microelectronics |
Cale, T.S. |
1998 |
12 | 4 |
p. 333-353 21 p. |
artikel |
|
| 4 | Thin film deposition: fundamentals and modeling |
Gilmer, G.H. |
1998 |
12 | 4 |
p. 354-380 27 p. |
artikel |
|
| 5 | Toward a predictive atomistic model of ion implantation and dopant diffusion in silicon |
Caturla, Maria Jose |
1998 |
12 | 4 |
p. 319-332 14 p. |
artikel |
5 gevonden resultaten