|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 14 van 83 gevonden artikelen
| Titel: |
Dielectric Properties of Ultra Dense (3 g/cm3) Silicon Nitride Deposited by Hot Wire CVD at Industrially Relevant High Deposition Rates |
| Auteur: |
Houweling, Zomer Silvester Verlaan, Vasco van der Werf, Karine Goldbach, Hanno D. Schropp, Ruud E. I. |
| Verschenen in: |
MRS proceedings |
| Paginering: | Jaargang 989 () nr. 1 pagina's xx |
| Jaar: |
2007-04-25 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer International Publishing, Cham |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 14 van 83 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |