|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 32 gevonden artikelen
| Titel: |
Extendibility Study of a PVD Cu Seed Process with Ar+ Rf-Plasma Enhanced Coverage for 45nm Interconnects |
| Auteur: |
Andrew, H. Simon Bolom, Tibor Teck, Jung Tang Baker, Brett Peters, Carsten Rhoads, Bryan Philip, L. Flaitz Sankaran, Sujatha Grunow, Stephan |
| Verschenen in: |
MRS proceedings |
| Paginering: | Jaargang 1079 () nr. 1 pagina's xx |
| Jaar: |
2008-12-01 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer International Publishing, Cham |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 32 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |