|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 26 van 47 gevonden artikelen
| Titel: |
Influence of deposition parameters on physico-chemical and optical properties of sputtered PbTiO3 thin films |
| Auteur: |
Jaber, B. Dogheche, E. Remiens, D. Thierry, B. |
| Verschenen in: |
Integrated ferroelectrics |
| Paginering: | Jaargang 13 (1996) nr. 4 pagina's 225-237 |
| Jaar: |
1996-12-01 |
| Inhoud: |
Stoichiometric thin films of lead titanate (PbTiO3) have been grown “in situ” without postannealing on (0001) sapphire substrates by rf magnetron sputtering technique. X-ray diffraction scans have revealed that as-grown films consist of the perovskite phase and are polycrystalline with a high (111) orientation. The structure, the microstructure and the optical properties have been studied as a function of the process parameters i.e., substrate temperature, gas pressure and the target composition, in particular the lead content. We report the dependence of the deposition conditions on the optical constants. The optimum experimental conditions (100m Torr and 600°C) to produce thin films with high transparency and refractive indices (n = 2.61 at 633 nm), similar to values for bulk materials, are given in this paper. |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 26 van 47 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |