|
Silizium — Mikrotechnik für thermische Sensoren - Silicon — micromachining for thermal sensors |
|
|
|
Titel: |
Silizium — Mikrotechnik für thermische Sensoren - Silicon — micromachining for thermal sensors |
Auteur: |
Kohl, F. Urban, G. Steurer, J. Olcaytug, F. Jachimowicz, A. Glaninger, A. Keplinger, F. Fasching, R. Biacovsky, D. |
Verschenen in: |
E & I |
Paginering: |
Jaargang 115 (1998) nr. 7-8 pagina's 391-395 |
Jaar: |
1998 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, Vienna |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|