|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Polycrystalline-Silicon LPCVD by Propene-Assisted Silane Pyrolysis: A Study of the Process and the Films |
| Auteur: |
V. G. Erkov S. F. Devyatova |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 31 (2002) nr. 5 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2002-09/10-/10 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, U.S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |