|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 184 van 259 gevonden artikelen
| Titel: |
Peculiarities of the Kinetics of Heterogeneous Processes during the Etching of Silicon in CF4 and C2Br2F4 Plasma |
| Auteur: |
Miakonkikh, A. V. Kuzmenko, V. O. Efremov, A. M. Rudenko, K. V. |
| Verschenen in: |
Russian microelectronics |
| Paginering: | Jaargang 51 () nr. 6 pagina's 505-511 |
| Jaar: |
2022-12-23 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 184 van 259 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |