Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
   volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 1 van 3 gevonden artikelen
 
 
  A study of imprint and etching behavior on fused silica of a new tailored resist mr-NIL213FC for soft UV-NIL
 
 
Titel: A study of imprint and etching behavior on fused silica of a new tailored resist mr-NIL213FC for soft UV-NIL
Auteur: Si, Shuhao
Weigel, C.
Messerschmidt, M.
Thesen, M.W.
Sinzinger, S.
Strehle, S.
Verschenen in: Micro and nano engineering
Paginering: Jaargang 6 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2020
Inhoud:
Uitgever: Published by Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 1 van 3 gevonden artikelen
 
   volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland