|
Elemental diffusion study of Ge/Al2O3 and Ge/AlN/Al2O3 interfaces upon post deposition annealing |
|
|
|
Titel: |
Elemental diffusion study of Ge/Al2O3 and Ge/AlN/Al2O3 interfaces upon post deposition annealing |
Auteur: |
Zhu, Yunna Wang, Xinglu Liu, Chen Wang, Tao Chen, Hongyan Wang, Wei-Hua Cheng, Yahui Wang, Weichao Wang, Jiaou Wang, Shengkai Cho, Kyeongjae Liu, Hui Lu, Hongliang Dong, Hong |
Verschenen in: |
Surfaces and interfaces |
Paginering: |
Jaargang 9 (2017) nr. C pagina's 51-57 |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|