|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 74 van 140 gevonden artikelen
| Titel: |
Nucleation and Growth of Platinum Films on High-k/Metal Gate Materials by Remote Plasma and Thermal ALD |
| Auteur: |
Fang, Qi Hodson, Chris Xu, Cigang Gunn, Robert |
| Verschenen in: |
Physics procedia |
| Paginering: | Jaargang 32 (2012) nr. C pagina's 10 p. |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 74 van 140 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |