|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
Optimal Synchronous Trajectory Tracking Control of Wafer and Reticle Stages |
| Auteur: |
Wang, Chunhong Hu, Jinchun Zhu, Yu Yin, Wensheng |
| Verschenen in: |
Tsinghua science and technology |
| Paginering: | Jaargang 14 (2009) nr. 3 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Tsinghua University Press |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |