|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 54 van 77 gevonden artikelen
| Titel: |
Stresses and deformation processes in thin films on substrates |
| Auteur: |
Doerner, Mary F. Nix, William D. |
| Verschenen in: |
Critical reviews in solid state and materials sciences |
| Paginering: | Jaargang 14 (1988) nr. 3 pagina's 225-268 |
| Jaar: |
1988 |
| Inhoud: |
The stresses that develop in thin films on substrates can be detrimental to the reliability of thin film electronic devices. In order to design these devices for improved mechanical reliability, an understanding of the origin of these stresses and the controlling deformation processes in thin films is needed. This review begins with a discussion of the basic techniques used for measuring stresses in thin films and for studying the mechanical properties of thin films. The proposed models for the origin of stresses in thin films are then reviewed. Finally, the effects of microstructure and substrate constraint on thin film deformation processes are discussed. |
| Uitgever: |
Taylor & Francis |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 54 van 77 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |