|
Silicon nanoparticles synthesized in SiO2 pockets by stencil-masked low energy ion implantation and thermal annealing |
|
|
|
Titel: |
Silicon nanoparticles synthesized in SiO2 pockets by stencil-masked low energy ion implantation and thermal annealing |
Auteur: |
Grisolia, J. Dumas, C. Ben Assayag, G. Bonafos, C. Schamm, S. Arbouet, A. Paillard, V. van den Boogaart, M.A.F. Brugger, J. Normand, P. |
Verschenen in: |
Superlattices and microstructures |
Paginering: |
Jaargang 44 (2008) nr. 4-5 pagina's 7 p. |
Jaar: |
2008 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|