|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 17 gevonden artikelen
| Titel: |
Experimental study of copper leveling additives and their wafer and pattern-scale effect on copper planarization |
| Auteur: |
Kelly, James Surisetty, Charan Canaperi, Donald |
| Verschenen in: |
Comptes rendus chimie |
| Paginering: | Jaargang 16 (2013) nr. 1 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Académie des sciences |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 17 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |