|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 19 van 41 gevonden artikelen
| Titel: |
Impact of plasma reactive ion etching on low dielectric constant porous organosilicate films' microstructure and chemical composition |
| Auteur: |
Lépinay, Matthieu Lee, Daniel Scarazzini, Riccardo Bardet, Michel Veillerot, Marc Broussous, Lucile Licitra, Christophe Jousseaume, Vincent Bertin, François Rouessac, Vincent Ayral, André |
| Verschenen in: |
Microporous and mesoporous materials |
| Paginering: | Jaargang 228 (2016) nr. C pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2016 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Inc. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 19 van 41 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |