Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 1 van 1 gevonden artikelen
 
 
  Sidewall surface chemistry in directional etching processes
 
 
Titel: Sidewall surface chemistry in directional etching processes
Auteur: Oehrlein, Gottlieb S.
Kurogi, Yukinori
Verschenen in: Materials science and engineering. R, Reports
Paginering: Jaargang 24 (1998) nr. 4 pagina's 31 p.
Jaar: 1998
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Science S.A.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 1 van 1 gevonden artikelen
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland