|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 12 gevonden artikelen
| Titel: |
A microaccelerometer structure fabricated in silicon-on-insulator using a focused ion beam process |
| Auteur: |
Daniel, J.H. Moore, D.F. |
| Verschenen in: |
Sensors and Actuators. A, Physical |
| Paginering: | Jaargang 73 (1999) nr. 3 pagina's 9 p. |
| Jaar: |
1999 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science S.A. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 12 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |