|
III–V Compound semiconductor micromachined actuators for long resonator tunable fabry-pérot detectors |
|
|
|
Titel: |
III–V Compound semiconductor micromachined actuators for long resonator tunable fabry-pérot detectors |
Auteur: |
Dehé, A. Peerlings, J. Pfeiffer, J. Riemenschneider, R. Vogt, A. Streubel, K. Künzel, H. Meissner, P. Hartnagel, H.L. |
Verschenen in: |
Sensors and Actuators. A, Physical |
Paginering: |
Jaargang 68 (1998) nr. 1-3 pagina's 7 p. |
Jaar: |
1998 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science S.A. All rights reserved |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|