|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
An empirical approach to explain the material removal rate for copper chemical mechanical polishing |
| Auteur: |
Guoshun, Pan Ning, Wang Hua, Gong Yan, Liu |
| Verschenen in: |
Tribology international |
| Paginering: | Jaargang 47 (2012) nr. C pagina's 3 p. |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 27 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |