|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 34 van 79 gevonden artikelen
| Titel: |
Improved measurement accuracy in optical scatterometry using fitting error interpolation based library search |
| Auteur: |
Chen, Xiuguo Liu, Shiyuan Zhang, Chuanwei Zhu, Jinlong |
| Verschenen in: |
Measurement |
| Paginering: | Jaargang 46 (2013) nr. 8 pagina's 9 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 34 van 79 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |