|
Ion-implantation induced anomalous surface amorphization in silicon |
|
|
|
Titel: |
Ion-implantation induced anomalous surface amorphization in silicon |
Auteur: |
Lohner, T. Kótai, E. Khánh, N.Q. Tóth, Z. Fried, M. Vedam, K. Nguyen, N.V. Hanekamp, L.J. van Silfhout, A. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 85 (1994) nr. 1-4 pagina's 335-339 |
Jaar: |
1994 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|