Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 16 van 35 gevonden artikelen
 
 
  Erratum to “Atomic-scale theory on degradation of HfSiON gate stacks by atomic hydrogen accompanied by its interaction with oxygen vacancy and substitutional nitrogen” [Microelectron. Eng. 88 (7) (2011) 1457–1460]
 
 
Titel: Erratum to “Atomic-scale theory on degradation of HfSiON gate stacks by atomic hydrogen accompanied by its interaction with oxygen vacancy and substitutional nitrogen” [Microelectron. Eng. 88 (7) (2011) 1457–1460]
Auteur: Nakasaki, Yasushi
Hirano, Izumi
Kato, Koichi
Mitani, Yuuichiro
Verschenen in: Microelectronic engineering
Paginering: Jaargang 88 (2011) nr. 11 pagina's 1 p.
Jaar: 2011
Inhoud:
Uitgever: Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 16 van 35 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland