|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 130 gevonden artikelen
| Titel: |
A novel X-ray mask concept for mex&match lithography fabrication of MOS devices by synchrotron radiation lithography |
| Auteur: |
Di Fabrizio, E. Grella, L. Gentili, M. Baciocchi, M. Mastrogiacomo, L. Choi, Sang-Soo Jeon, Young Jin Yoo, Hyung Joun Chung, Hai Bin |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 35 (1997) nr. 1-4 pagina's 553-556 |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 130 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |