|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 114 van 130 gevonden artikelen
| Titel: |
Study of energy broadening of high-brightness ion beams from a surface plasma Penning source and its relevance in ion projection lithography |
| Auteur: |
Guharay, S.K. Sokolovsky, E.A. Reiser, M. Orloff, J. Melngailis, J. |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 35 (1997) nr. 1-4 pagina's 435-438 |
| Jaar: |
1997 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 114 van 130 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |