|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 27 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Press and release imprint: Control of the flexible mold deformation and the local variation of residual layer thickness in soft UV-NIL |
| Auteur: |
Koo, Namil Otto, Martin Kim, Jung Wuk Jeong, Jun-Ho Kurz, Heinrich |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 88 (2011) nr. 6 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 27 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |
Toegankelijkheidsverklaring